GIS设备可采用充高纯氮气（纯度为99.999%)或抽真空来进行内部的净化和检漏。抽真空设备可采用带有逆止阀或电磁阀的抽真空机组或六氟化硫回收装置。充气管路、连接部件可用稀盐酸或稀碱冲洗，冲净后加热干燥。GIS设备充气时，应复检六氟化硫湿度，确认合格后方可使用。充气后，对设备密封、焊缝以及管路接头进行全面检漏，无泄漏为充装完毕。