硅尘进入肺泡后，被巨噬细胞吞噬，然后进入淋巴系统到达肺门淋巴结。首先引起肺门淋巴结的纤维组织增生，形成硅结节。随着尘细胞的不断堆积，造成淋巴管的阻塞及淋巴液的淤滞，逆流至胸膜下淋巴管，从而引起肺泡间隔和血管、支气管周围尘细胞聚集，发生纤维化，产生硅结节。